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    MKS電容壓力計(jì)
    名稱:  MKS電容壓力計(jì)
    型號(hào):  DA02B系列
    品牌:  MKS
    產(chǎn)地:  美國(guó)
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    發(fā)布時(shí)間:  2023-10-30
    瀏覽次數(shù):  1232
    產(chǎn)品詳情

    本文收集整理了一些有關(guān)于美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列的產(chǎn)品信息,詳細(xì)介紹了美國(guó)MKS電容壓力計(jì)的產(chǎn)品特點(diǎn),華聯(lián)歐優(yōu)惠銷售MKS電容壓力計(jì),如果您有所需求,歡迎隨時(shí)您來(lái)電!

    1、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列介紹
    MKS Baratron®電容壓力計(jì)具有高精度和可重復(fù)性,對(duì)氣體成分不敏感,結(jié)構(gòu)緊湊,并且易于與大多數(shù)過(guò)程工具連接。他們幾乎完全使用鎳基合金制造隔膜壓力表,例如Inconel®、Incoloy®等。當(dāng)材料與工藝相匹配時(shí),這使得它們具有高度的耐腐蝕性。他們的傳感器在組裝前經(jīng)過(guò)完全焊接和100%泄漏檢查。如果隔膜發(fā)生極其罕見(jiàn)的故障,過(guò)程氣體將完全包含在傳感器內(nèi),防止逸出到外部環(huán)境。沒(méi)有其他壓力或真空計(jì)能夠提供這種安全級(jí)別。他們的高性能Baratron®電容壓力計(jì)能夠以高精度和高重復(fù)性測(cè)量獨(dú)立于氣體的絕對(duì)壓力。精度被指定為準(zhǔn)確輸出信號(hào)的讀數(shù)的百分比,即使在刻度的低端也是如此。
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    2、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列概述
    DA02B EtherCAT®Baratron®電容壓力計(jì)繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中,使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)EtherCAT數(shù)字通信連接到復(fù)雜的過(guò)程工具。EtherCAT Baratron壓力計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的配備以太網(wǎng)的627C和628C Baratron產(chǎn)品,符合當(dāng)前的SEMI®EtherCAT通用設(shè)備配置文件,專為在先進(jìn)處理系統(tǒng)中使用而設(shè)計(jì)。

    3、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列特點(diǎn)
    ①未加熱或控制至45°C、80°C或100°C
    ②EtherCAT®通信和與壓力成比例的0-10 VDC輸出
    ③滿量程測(cè)量范圍為0.1至1000 Torr(13.3 Pa至133.3 kPa)
    ④提供標(biāo)準(zhǔn)或蝕刻傳感器
    ⑤全焊接Inconel和Incoloy®傳感器具有極高的耐腐蝕性
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    4、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列規(guī)格
    ①傳感器溫度:控制至45°C、80°C或100°C
    ②滿量程壓力范圍:0.1、0.25、1、2、10、20、50、100、200、500和1000托(和公制當(dāng)量)
    ③解決:0.001%滿量程
    ④通訊協(xié)議:EtherCAT®
    ⑤模擬輸出:0-10 VDC輸入小于10Ω負(fù)載
    ⑥模擬連接器:15針D型超小型公頭
    ⑦數(shù)字連接器:兩(2)個(gè)RJ45母插座,用于輸入信號(hào)和網(wǎng)絡(luò)信號(hào)
    ⑧跨度溫度系數(shù):0.02%讀數(shù)/°C
    ⑨超壓限制:45磅/平方英寸(310千帕)

    5、美國(guó)MKS電容壓力計(jì)DA02B系列特征
    (1)Baratron®電容壓力計(jì)技術(shù)
    電容壓力計(jì)是機(jī)電壓力計(jì),可以測(cè)量壓力和真空。電容計(jì)將薄隔膜中的壓力調(diào)制運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成與壓力成比例的電信號(hào)。壓力傳感器是一個(gè)薄隔膜,暴露在通過(guò)入口管測(cè)量的壓力或真空中。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過(guò)程和參考腔之間的壓力差coodyak使隔膜輕微偏轉(zhuǎn),改變隔膜和電極之間的距離。該距離的變化會(huì)導(dǎo)致隔膜和電極之間的電容變化,從而產(chǎn)生與壓力變化成比例的電信號(hào)。由于電容信號(hào)的差異是由壓力計(jì)內(nèi)的物理變化產(chǎn)生的,而不是由氣體特性的變化產(chǎn)生的,因此電容壓力計(jì)的壓力測(cè)量與被測(cè)氣體的成分無(wú)關(guān)。

    (2)讀數(shù)準(zhǔn)確率百分比
    精度指定為讀數(shù)的百分比,而不是滿量程,如某些性能較低的設(shè)備中所見(jiàn)。讀數(shù)精度百分比在最需要的壓力范圍較低范圍內(nèi)為您提供更準(zhǔn)確的輸出信號(hào)。

    (3)內(nèi)部加熱至45°C、80°C或100°C
    這些電容壓力計(jì)的溫度控制為45°C、80°C或100°C,以提高精度。未加熱版本會(huì)暴露在環(huán)境溫度變化的環(huán)境中,這會(huì)降低傳感器的精度。這些設(shè)備將傳感器封裝在一個(gè)保持在高于環(huán)境溫度的恒定溫度的體積中。該解決方案通過(guò)減少或消除壓力計(jì)內(nèi)的過(guò)程污染,提高了壓力計(jì)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性,并降低了儀器漂移。建議將加熱壓力計(jì)用于需要最大精度和可重復(fù)性、在環(huán)境溫度以上運(yùn)行的應(yīng)用以及使用熱氣體的過(guò)程。

    (4)絕對(duì)壓力測(cè)量
    這些Baratron®壓力傳感器以真空為參考進(jìn)行絕對(duì)壓力測(cè)量。應(yīng)用包括:真空爐、水果和蔬菜冷凍干燥、氣體激光器、汽車部件測(cè)試、瓶子涂層和真空蒸餾。

    (5)Inconel®和Incoloy®結(jié)構(gòu)潤(rùn)濕表面
    這些壓力傳感器采用Inconel®和Incoloy®鎳合金結(jié)構(gòu)的壓力傳感器,使其能夠在幾乎任何化學(xué)環(huán)境(包括鹵素、去離子水和蒸汽以及臭氧)中無(wú)損壞地運(yùn)行。傳感器完全焊接,沒(méi)有中間釬焊或連接材料。

    (6)0至10 VDC比例模擬輸出
    這些Baratron®電容壓力計(jì)具有與壓力呈線性關(guān)系的高電平0-10 VDC模擬輸出信號(hào)。該模擬輸出可與MKS壓力控制器、MKS電源/顯示儀器或滿足這些要求的任何儀器連接。

    (7)EtherCAT®通信
    這些支持e-Baratron EtherCAT®的電容壓力計(jì)繼續(xù)將高性能發(fā)展到網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)中,使用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)EtherCAT數(shù)字通信連接到復(fù)雜的過(guò)程工具。EtherCAT e-Baratron壓力計(jì)基于經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的配備以太網(wǎng)的627C和628C e-Baratron產(chǎn)品,符合當(dāng)前的SEMI®EtherCAT通用設(shè)備規(guī)范,設(shè)計(jì)用于先進(jìn)處理系統(tǒng)。

    鄭重聲明:內(nèi)容來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)收集整理,不一定正確,僅作參考;本站僅僅是為了更好地宣傳推廣歐美工控備件等產(chǎn)品信息,方便用戶了解這些歐美工業(yè)備品備件,我司非以上品牌的官方授權(quán)代理,品牌、商標(biāo)所有權(quán)、型號(hào)解釋權(quán)都?xì)w原廠商所有。如有問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系我們。
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